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（三）項目交付件：

2套高速雙向運動機構(gòu)、設(shè)計資料、圖紙、關(guān)鍵技術(shù)研究報告、測試報告。

（四）其他要求：

刀片、導(dǎo)軌等關(guān)鍵零部件，以及加工工藝，需實現(xiàn)國產(chǎn)化。項目承擔單位承諾，本項目驗收通過后2年內(nèi)，具備年產(chǎn)≥10套的生產(chǎn)能力。

（五）項目完成時間：不晚于2024年6月

（六）擬資助經(jīng)費：不超過200萬元

（一）研究內(nèi)容：

開展較好隔振傳遞率、較高位置穩(wěn)定性的主動減振器及其控制技術(shù)研究。

（二）考核指標：

減振器系統(tǒng)三點式布局，總承載2800~3500kg，單個減振器最大承載≥1500kg；單個減振器長*寬*高：360mm*250mm*200mm；減振器X/Y/Z三個方向傳遞率要求：a)<-30dB@2Hz；b)<-50dB@10Hz；c)<-80dB@50Hz；負載位置穩(wěn)定性(3σ)：X/Y/Z三個方向<15μm@5min；具有機械限位功能（浮起狀態(tài)）：水平向<±700μm、垂向<±700μm；外部前饋信號通道不小于10路；提供用于減振器控制固件通訊的遠程命令接口，包括減振器狀態(tài)查詢、控制參數(shù)設(shè)置與獲取等功能；MTTR≤4小時，MTBF≥7000小時。

（三）項目交付件：

2套主動減振器、設(shè)計資料、圖紙、關(guān)鍵技術(shù)研究報告、測試報告。

（四）其他要求：

傳感器、執(zhí)行器、控制器等關(guān)鍵零部件，需實現(xiàn)國產(chǎn)化。項目承擔單位承諾，本項目驗收通過后2年內(nèi)，具備年產(chǎn)≥10套的生產(chǎn)能力。

（五）項目完成時間：不晚于2024年12月

（六）擬資助經(jīng)費：不超過300萬元

（一）研究內(nèi)容：

研究對自由空間光進行高頻、高精度大范圍調(diào)制的相位調(diào)制器，有效降低激光時間相干性。

（二）考核指標：

長*寬*高≤25.65mm*25.65mm*31.75mm；調(diào)制波長：532nm；共振頻率：1.75GHz；相位調(diào)制振幅范圍：1.2~7.1rad；靈敏度0.32~0.39rad/V@532nm；有效通光孔>1mm*1mm；光束點指向穩(wěn)定性＜0.1mrad/K（晶體溫度變化）。

（三）項目交付件：

2套相位調(diào)制器、設(shè)計資料、圖紙、關(guān)鍵技術(shù)研究報告、測試報告。

（四）其他要求：

光電晶體等關(guān)鍵元器件，需實現(xiàn)國產(chǎn)化。項目承擔單位承諾，本項目驗收通過后2年內(nèi)，具備年產(chǎn)≥20套的生產(chǎn)能力。

（五）項目完成時間：不晚于2023年12月

（六）擬資助經(jīng)費：不超過90萬元

（一）研究內(nèi)容：

開發(fā)一款具有表面耐磨、冷卻效率高等特點的水冷單元。