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雖然數(shù)字重聚焦在數(shù)字全息顯微鏡中很常見，但它通常不被認(rèn)為是表面形貌干涉測量的特征或能力。盡管如此，從前面對該方法的數(shù)學(xué)描述來看，在采集后以相同的方式重新聚焦常規(guī)干涉測量數(shù)據(jù)是完全可行的。隨著數(shù)據(jù)密度的增加，人們對校正聚焦誤差以保持干涉測量中的高橫向分辨率感興趣。

圖6 激光菲索干涉儀的聚焦機(jī)理

與全息系統(tǒng)不同，傳統(tǒng)干涉儀的布置方式是在數(shù)據(jù)采集之前將物體表面精確地聚焦到相機(jī)上。圖 6 說明了一種簡化的聚焦機(jī)制。聚焦通常是手動(dòng)過程，涉及圖像清晰度的主觀確定。由于光學(xué)表面通常在設(shè)計(jì)上沒有特征，因此常見的過程包括將直尺放置在盡可能靠近調(diào)整表面的位置并調(diào)整焦距，直到直尺看起來最鋒利。繁瑣的設(shè)置和人為錯(cuò)誤的結(jié)合使得我們可以合理地?cái)嘌裕裉旌苌儆懈缮鎯x能夠充分發(fā)揮其潛力，僅僅是因?yàn)榫劢瑰e(cuò)誤。數(shù)字重新聚焦提供了使用軟件解決此問題的機(jī)會。

早在 1960 年代后期，學(xué)者們就已經(jīng)對波帶片與計(jì)算機(jī)生成全息圖 (CGH) 之間的類比有了很好的理解，這是因?yàn)樵陂_發(fā)新的基于激光的不等徑干涉儀來測試光學(xué)元件的表面形狀的應(yīng)用時(shí)，需要對具有非球面形狀的透鏡和反射鏡進(jìn)行精確測試。

圖7 計(jì)算的菲涅爾波帶片圖樣和牛頓環(huán)（等效于單獨(dú)的虛擬點(diǎn)光源產(chǎn)生的Gabor全息圖）

然而，干涉儀作為最好的空檢測器，在比較形狀幾乎相同的物體和參考波前時(shí)能提供最高的精度和準(zhǔn)確度，雖然有許多巧妙的方法可以使用反射和折射光學(xué)器件對特定種類的非球面進(jìn)行空測試，但 CGH 可通過簡單地改變不透明和透明區(qū)域的分布來顯著增加解空間。

CGH 空校正器的最吸引人的特點(diǎn)是波前構(gòu)造的準(zhǔn)確性在很大程度上取決于衍射區(qū)的平面內(nèi)位置，而不是表面高度。因此，無需費(fèi)力地將非球面參考表面拋光至納米精度，而是可以在更寬松的尺度上從精密參考波來合成反射波前。

圖8 使用激光菲索干涉儀和計(jì)算機(jī)產(chǎn)生的全息圖測試非球形表面的光學(xué)裝置

全息干涉測量術(shù)是全息術(shù)對干涉測量術(shù)最明顯的貢獻(xiàn)，從技術(shù)名稱中就可以看出。這項(xiàng)發(fā)現(xiàn)的廣泛應(yīng)用引起了計(jì)量學(xué)家高度關(guān)注，包括用于通過全息術(shù)定量分析三維漫射物體的應(yīng)力、應(yīng)變、變形和整體輪廓的方法。全息干涉測量術(shù)的發(fā)現(xiàn)對干涉測量術(shù)的能力和可解釋性產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響，為了辨別這些聯(lián)系，首先考慮在同一全息圖的兩次全息曝光中，傾斜一個(gè)平面物體。兩個(gè)物體方向的強(qiáng)度圖樣的不相干疊加，調(diào)制了全息圖中條紋的對比度，而當(dāng)這個(gè)雙曝光全息圖用參考波重新照射，以合成來自物體的原始波前時(shí)，結(jié)果也是條紋圖樣。