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 附件：榜單任務(wù).docx

 安徽省科學(xué)技術(shù)廳

2022年5月30日

附件 榜單任務(wù)

一、新型激光晶圓切割技術(shù)研發(fā)

需求目標(biāo)：開發(fā)基于空間光調(diào)制器的激光隱形切割工藝及成套設(shè)備,。需重點(diǎn)突破的技術(shù)難點(diǎn)：

1.高精度氣浮平臺(tái)的研發(fā),。系統(tǒng)可達(dá)到±1um的重復(fù)定位精度，最高可實(shí)現(xiàn)3G的加速度,，2000mm/s的運(yùn)動(dòng)速度,。

2.光路涉及實(shí)現(xiàn)激光的空間調(diào)制。通過GS算法,、模擬退火算法等技術(shù),，通過對(duì)最終需要的激光光斑三維布情況來(lái)計(jì)算輸入相位全息圖，實(shí)現(xiàn)高效率高品質(zhì)的全息圖計(jì)算,。

3.切割焦點(diǎn)Z向動(dòng)態(tài)補(bǔ)償,。實(shí)現(xiàn)位移傳感器和聚焦光軸與劃片方向平行安裝，位移傳感器采集的晶圓面起伏信息傳輸給納米電機(jī)根據(jù)晶圓平面起伏量進(jìn)行焦點(diǎn)的實(shí)時(shí)補(bǔ)償以達(dá)到實(shí)時(shí)動(dòng)調(diào)焦的目的,。

4.可變整形光斑控制系統(tǒng),。實(shí)現(xiàn)不同寬度的切割，鏡片設(shè)計(jì),，制造指標(biāo),，鍍膜指標(biāo)，系統(tǒng)精度完全自主可控,。

5,、光路自動(dòng)穩(wěn)定系統(tǒng)研發(fā)，確保設(shè)備在惡劣環(huán)境下可持續(xù)的穩(wěn)定工作。

成果形式：基于空間光調(diào)制器的激光隱形切割工藝及成套設(shè)備,。

技術(shù)指標(biāo)：