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（三）力傳感器

揭榜任務(wù)：面向人形機器人準確獲取驅(qū)動關(guān)節(jié)和肢體末端觸感力學(xué)信號的需求,，突破穩(wěn)定可靠的力傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計與制造,、智能化信號處理與分析、多信息智能識別與模型分析等關(guān)鍵技術(shù),；研制系列化,、高性能、低成本,、智能化的新型力傳感器,；發(fā)展低成本、規(guī)?；膫鞲衅魃a(chǎn)制造方法,，推動新型力傳感器在人形機器人上的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

預(yù)期目標：到2025年,，完成人形機器人系列化力傳感器的設(shè)計與制造,，滿足驅(qū)動關(guān)節(jié)、手指,、足底等肢體末端力測量需要,，并在人形機器人上開展實際應(yīng)用。傳感器采用低成本,、高性能的設(shè)計,，精度達到0.5%FS，響應(yīng)時間優(yōu)于0.03s,，具有智能信息采集與處理能力,，提升力傳感器的智能化水平。

（四）MEMS姿態(tài)傳感器

揭榜任務(wù)：面向人形機器人姿態(tài)控制對高性能,、小型化姿態(tài)傳感器的需求,，突破傳感器小型化結(jié)構(gòu)設(shè)計、陀螺儀高精度加工工藝,、智能響應(yīng)姿態(tài)解算等關(guān)鍵技術(shù),；研制基于MEMS慣性器件的高性能姿態(tài)傳感器；研究減小傳感系統(tǒng)體積重量,，降低功耗,，提升傳感器抗振動、抖動能力以及傳輸性能的方法,；發(fā)展低成本,、規(guī)?；瘋鞲衅魃a(chǎn)制造方法,，推動新型MEMS姿態(tài)傳感器在人形機器人上的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,。

預(yù)期目標：到2025年，完成高性能,、低成本的MEMS姿態(tài)傳感器研制,，具有較強的抗振動和抖動性能，俯仰角和橫滾角靜態(tài)精度為0.1°,，零偏穩(wěn)定性（1σ,，10s平滑）不低于0.3°/h，MEMS姿態(tài)傳感器具有強的魯棒性和智能穩(wěn)定算法,。

（五）觸覺傳感器

揭榜任務(wù)：圍繞人形機器人靈巧手使用工具,、操作設(shè)備、分揀物品,、高精度裝配等能力,，在靈巧手掌內(nèi)配置觸覺傳感器，以感知操作目標的位姿,、硬度,、肌理等特征，提高靈巧手的智能化操作能力,。研發(fā)小體積,、高可靠性、高穩(wěn)定性的人形機器人手部觸覺傳感器,，滿足人形機器人靈巧手感知,、操作、交互等需求,，提升新型觸覺傳感器自主設(shè)計與研發(fā)水平,，推動觸覺傳感器的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

預(yù)期目標：

到2025年,，完成小體積高可靠性高穩(wěn)定性的手部觸覺傳感器研制,，實現(xiàn)指尖、指腹和掌面部位傳感器陣列密度1mm×1mm（厚度≤0.3mm）,；力檢測范圍0.1N/cm~240N/cm(10g/cm~24kg/cm)±5%,；最小檢測力10g。

二,、重點產(chǎn)品

（六）旋轉(zhuǎn)型電驅(qū)動關(guān)節(jié)

揭榜任務(wù)：面向人形機器人高爆發(fā),、高功率密度的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)性能需要，研究融合驅(qū)動,、傳動,、力感知、伺服控制,、熱控的關(guān)節(jié)設(shè)計方法,，研發(fā)高響應(yīng),、輕量化、變剛度,、高精度,、模塊化的電機驅(qū)動力控關(guān)節(jié)，提升電機驅(qū)動關(guān)節(jié)的自主研發(fā)水平和人形機器人高動態(tài)運動能力,，推動高性能力控關(guān)節(jié)的應(yīng)用,。