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1nm-50nm，測量分辨力達(dá)到亞單原子層,，每小時信號漂移＜5×10^-3,，信噪比＞1000:1，單次厚度最快測量時間＜10ms,。

四,、示范應(yīng)用

（一）高靈敏原子團簇?zé)o創(chuàng)唾液傳感器

揭榜任務(wù)：為滿足多樣化醫(yī)療服務(wù)場景的迫切需求，實現(xiàn)近距鄰接耦合團簇陣列精確制備,，攻克復(fù)雜基質(zhì)中對痕量物質(zhì)高特異性識別的技術(shù)難題,，開發(fā)基于金團簇等離激元即時檢測（POCT）唾液智能分析系統(tǒng)。

預(yù)期目標(biāo)：到2026年,，搭建1套唾液POCT能智能分析儀,，其中金團簇原子數(shù)的誤差控制在絕對值小于100。系統(tǒng)具備同時檢測唾液中的葡萄糖,、尿酸和皮質(zhì)醇三種關(guān)鍵生物標(biāo)志物的能力,，檢測時間縮短至10分鐘以內(nèi)。

（二）面向高效穩(wěn)定太陽能電池的鈣鈦礦薄膜原子級缺陷鈍化技術(shù)

揭榜任務(wù)：針對面積大于30×750px²商用鈣鈦礦太陽能電池產(chǎn)品的迫切需求,，發(fā)展原子級沉積新方法,，生長大面積高品質(zhì)鈣鈦礦薄膜，突破鈣鈦礦薄膜均勻化原子級缺陷鈍化關(guān)鍵技術(shù),，研制電池電極和封裝材料的原子層沉積集成技術(shù),，提升鈣鈦礦太陽能電池的壽命和可靠性，推動產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,。

預(yù)期目標(biāo)：到2026年,，產(chǎn)出面積>22500px²的鈣鈦礦薄膜，實現(xiàn)薄膜的原子級缺陷鈍化且缺陷態(tài)密度<10¹⁴ cm^-3，結(jié)合原子層沉積技術(shù)完成相應(yīng)太陽能電池模組的批量化生產(chǎn),。在此面積下實現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換效率≥20%,。連續(xù)光照2000小時后，效率衰減<5%,；通過IEC“雙85”濕熱測試認(rèn)證,。

附件3

清潔氫揭榜掛帥任務(wù)榜單

一、核心基礎(chǔ)

（一）低成本兆瓦級質(zhì)子交換膜電解堆

揭榜任務(wù)：面向可再生能源制氫對低能耗,、寬功率波動,、高動態(tài)響應(yīng)的應(yīng)用需求，突破兆瓦級質(zhì)子交換膜（PEM）電解水制氫電解堆的關(guān)鍵技術(shù),；研制出低能耗,、輕量化、高可靠性的兆瓦級PEM電解堆,；實現(xiàn)適應(yīng)性寬功率波動MW級PEM電解水制氫系統(tǒng)集成與應(yīng)用,；掌握標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)?；?、低成本的電解堆生產(chǎn)制造方法，推動PEM電解堆在制氫領(lǐng)域的應(yīng)用,。

預(yù)期目標(biāo)：到2026年,，量產(chǎn)兆瓦級PEM電解堆具備可再生能源波動工況下的長時間工作能力，單電解堆制氫能力大于400Nm³/h,，直流電耗不高于4.4kWh/Nm³,，成本低于240萬元/MW,。

（二）可量產(chǎn)陰離子交換膜電解堆

揭榜任務(wù)：面向可再生能源電解水制氫的規(guī)?；偷统杀拘枨螅芯看蠊β赎庪x子交換膜制氫電解堆的零部件與整堆結(jié)構(gòu)設(shè)計及批量制造技術(shù),，研究電解堆運行控制策略,，完成大功率陰離子交換膜制氫電解堆的開發(fā)與測試驗證，提升電解堆產(chǎn)氫電流密度與功率波動適應(yīng)性,。