人妻秘书ol中文字幕星空传媒影视公司|中文字幕人妻中文字幕成人性电影|国产精品美女久久久久久免费亚洲国产精品中文字幕一区久久|中文字幕在线天堂中文字幕一区一区二区三区|91丨九色丨国产熟女a|亚洲国产精品91|91极品国产|色悠悠国产精品|亚洲av一线二线久久性色|9区中文字幕在线,999中文字幕精品,成人久久不卡一区二区三区,国产av专区网站大全

圖5：信息密度漸變顯示示意圖

圖源：Light：Science & Applications,2021,10(1):213. Fig.1（c）

圖6：信息密度漸變顯示效果圖

圖源：Light：Science & Applications,2021,10(1):213. Fig.5（a）

  3. 面向裸眼 3D 顯示的微納制造技術  

相位調控微納結構與器件兼具幅面大（組合幅面達米級）,、結構小（50nm-50μm）,、精度高（周期排列精度<1nm）等特點,，屬于極端微納制造范疇。如何高效高精度微納制造是微納光電子器件與產業(yè)的共性技術難題,。

蘇州大學陳林森研究員提出并搭建了四變量輸出的納米光場光刻系統(tǒng),，它由兩個傅里葉變換透鏡和一個二元光學元件組成。如下圖所示,，激光經過擴展系統(tǒng)準直后入射到傅里葉變換透鏡,。經衍射光柵后產生正負一級（或多級）光，兩光點發(fā)射的球面波在第二個傅里葉透鏡的后焦面形成干涉光場,，用光闌來限制光束大小，再經聚焦物鏡倍縮后,，在樣品表面形成干涉條紋,。通過雙光束（或多光束）干涉光刻方法，一次曝光,，形成像素尺寸為幾十微米的納米光柵像素,，寫入速度大大提高。同時,，改變衍射光柵的前后位置可以輸出變周期的干涉條紋,，旋轉衍射光柵可以輸出不同取向的干涉條紋。該方法可實現(xiàn)對輸出結構的實時連續(xù)調制,，納米光柵的變化精度可達納米級,。

圖7：納米光柵光刻系統(tǒng)及制備的結構圖

圖源：Optics Express,2016,24(6):6203. Fig.3

為了制備具有復雜型貌的微納結構，團隊還提出了 3D 光刻技術,。該系統(tǒng)主要包含激光器,、空間光調制器（DMD）和微縮投影物鏡?？臻g光調制器加載設計好的結構圖形,，結構圖像的刷新速度與樣品載物臺的移動同步,。聚焦物鏡將空間光調制器上的結構圖像縮小，投影至光刻膠上,。若想要制備多臺階結構,，可在樣品同一區(qū)域進行多次曝光，根據臺階的級數(shù)每次曝光的圖案也不同,。該方法可實現(xiàn)無掩膜灰度光刻,，連續(xù)加工面型結構，制備多臺階的微納結構,。

圖8：灰度激光直寫系統(tǒng)及制備的結構圖

圖源：IEEE Photonics Technology Letters,2020,32(5):283-6. Fig.3(a),，F(xiàn)ig.4（d）

微納光子器件為逐像素操控光束提供了可能性。與基于微透鏡陣列的 3D 顯示架構中區(qū)域化光場重構策略相比,，逐像素光場重構具有以下優(yōu)勢：